機(jī)電(diàn)一(yī)體(tǐ)化(huà)的(de)發展大(dà)體(tǐ)可(kě)以分(fēnφ)為(wèi)3個(gè)階段。20世紀60年(nián)代以前為(wèi)第一(yī)階段，這(zhè)一(yī)階段稱為(wèi)初級階段。在這(z↓hè)一(yī)時(shí)期，人(rén)們自(zì)覺不(bù)自(zì)覺地(dì)利用(yòng)電(diàn)子(zǐ)技(jì)​術(shù)的(de)初步成果來(lái)完善機(jī)械産品的(de)性能(néng)。特别是(shì)在第二次世界大(dà)戰期間(jiān)，戰争刺激了(le)機(jī)械産品與電(diànλ)子(zǐ)技(jì)術(shù)的(de)結合，這(zhè)些(xiē)機(jī)電(diàn)結合的(de)軍用(yòng)技(jì)術‌(shù)，戰後轉為(wèi)民(mín)用(yòng)，對(duì)戰後經濟的(de)恢複起了(le)積極的(de)作(zuò)用(yòng)。那(nà¥)時(shí)研制(zhì)和(hé)開(kāi)發從(cóng)總體(tǐ)上(shàng)看(kàn)還(hái)處于自(zì)發狀态。由于當時(÷shí)電(diàn)子(zǐ)技(jì)術(shù)的(de)發展尚未達到(dào)一(yī)定水(shuǐ)平，機(jī)械技(jì)術(shù)與電(diàn)子(zǐ)技(jì≥)術(shù)的(de)結合還(hái)不(bù)可(kě)能(néng)廣泛和(hé)深入發展，已經開(kāi)發的(de)産品也(yě)無法大(dà)量推廣。
      20世紀70~80年(nián)代為(wèi)第二階段，可(kě)稱為(wèi)蓬勃發展階段。這(zhè)一(yī)時(sh•í)期，計(jì)算(suàn)機(jī)技(jì)術(shù)、控制(zhì)技(jì)術(shù)、通(tōng)信技(jì)術(shù)的(de)發☆展，為(wèi)機(jī)電(diàn)一(yī)體(tǐ)化(huà)的(de)發展奠定了(le)技(jì)術(shù)基礎。大(dà)規模、超大(dà)規模集成電π(diàn)路(lù)和(hé)微(wēi)型計(jì)算(suàn)機(jī)的(de)迅猛發展，為(wèi)機(jī)電(diàn₩)一(yī)體(tǐ)化(huà)的(de)發展提供了(le)充分(fēn)的(de)物(wù)質基礎。這(zhè)個(gè)時(shí)期£的(de)特點是(shì)：①mechatronics一(yī)詞首先在日(rì)本被普遍接受，大(dà)約§到(dào)20世紀80年(nián)代末期在世界範圍內(nèi)得(de)到(dào)比較廣泛的(de)承認；②機(jī)電(diàn)一(yī)體(tǐ)化(huà)技(j"ì)術(shù)和(hé)産品得(de)到(dào)了(le)極大(dà)發展；③各國(guó)均開(kāi)始對(d₽uì)機(jī)電(diàn)一(yī)體(tǐ)化(huà)技(jì)術(shù)和(hé)産品給以很(±hěn)大(dà)的(de)關注和(hé)支持。
      20世紀90年(nián)代後期，開(kāi)始了(le)機(jī)電(diàn)一(yī)體(tǐ)•化(huà)技(jì)術(shù)向智能(néng)化(huà)方向邁進的(de)新階段，機(jī)電(diàn)一(yī)體(tǐ)化(huà)進入深γ入發展時(shí)期。一(yī)方面，光(guāng)學、通(tōng)信技(jì)術(shù)等進入了(le)機(jī)電(diàn)一(yī)體(tǐ)化λ(huà)，微(wēi)細加工(gōng)技(jì)術(shù)也(yě)在機(jī)電(diàn)一(yī)‍體(tǐ)化(huà)中嶄露頭腳，出現(xiàn)了(le)光(guāng)機(jī)電(diàn)一(yī)體(tǐ)化(huà)和(hé)微(wēi)機(jī)電(diàn) 一(yī)體(tǐ)化(huà)等新分(fēn)支；另一(yī)方面對(duì)機(jī)電(diàn)一(yī)體(tǐ)化(huà)∏系統的(de)建模設計(jì)、分(fēn)析和(hé)集成方法，機(jī)電(diàn)一(yī)體(tǐ)化(huà)的(de)學科(kē)體(tǐ)系和(hé)發展趨÷勢都(dōu)進行(xíng)了(le)深入研究。同時(shí)，由于人(rén)工(gōng)智能(néng)技(jì)術(shù)$、神經網絡技(jì)術(shù)及光(guāng)纖技(jì)術(shù)等領域取得(de)的(de)巨大(dà)進步，為(wèi)機(jī)電(d iàn)一(yī)體(tǐ)化(huà)技(jì)術(shù)開(kāi)辟了(le)發展的(de)廣闊天地(dì)。這(zhè)些(xiē)研究，将促使'機(jī)電(diàn)一(yī)體(tǐ)化(huà)進一(yī)步建立完整的(de)基礎和(hé•)逐漸形成完整的(de)科(kē)學體(tǐ)系。
      我國(guó)是(shì)從(cóng)20世紀80年(nián)代初才開(kāi)始在這(zhè)方面研究和(hé)應用(yòng)。✘國(guó)務院成立了(le)機(jī)電(diàn)一(yī)體(tǐ)化(huà)領導小(xiǎo)組并将該技(jì)術(shù)列為(wèi)“863計(jì)劃”中。在制(zhì↑)定“九五”規劃和(hé)2010年(nián)發展綱要(yào)時(shí)充分(fēn)考慮了(le)國(guó)際上(shàng)關于機(jī)電(diàn) 一(yī)體(tǐ)化(huà)技(jì)術(shù)的(de)發展動向和(hé)由此可(kě)能(néng)帶來(lái)的(de)♠影(yǐng)響。許多(duō)大(dà)專院校(xiào)、研究機(jī)構及一(yī)些(xiē)大(dà)中型企業(yè)對(duì)這<(zhè)一(yī)技(jì)術(shù)的(de)發展及應用(yòng)做(zuò)了(le)大(dà)量的(de)工(gōng)作(zuò)，已經取得(de)了(l✘e)一(yī)定成果，但(dàn)與日(rì)本等先進國(guó)家(jiā)相(xiàng)比仍有(yǒu)相(xiàng)當差距。